ガス導入システム制御ユニット

TEM（透過型電子顕微鏡）用真空圧力・流量を自動制御

ガス導入システム制御ユニット

仕様
  • TEM用ガス導入システム装置
  • 圧力制御または、流量制御による自動システム
  • 設計圧力：（装置入口）０．９MpaG,(二次圧）0.3MpaG
  • 圧力制御：～200kpa abs
  • 流量制御：～10SCCM